Das aufgetragene Material wird von einem Kohlenstofftarget abgeschieden. Ein Target ist nach ca. 30 Minuten verbraucht und wird im laufenden Prozess automatisch ausgewechselt. Auch der Targetwechsel wird innerhalb der Taktzeit der Produktionslinie ausgeführt. Beim Wechsel des Kohlenstofftargets darf keine Verschlechterung des Vakuums auftreten. Der Vakuumbogen ist eigentlich eine einfache Art der Beschichtung. Leider lagern sich flüssige Tropfen des Targetmaterials als sog. Droplets ab. Der einzig mögliche Weg diese Droplets zu vermeiden, ist diese herauszufiltern. Dies wird in starken Magnetfeldern gewährleistet. Das bedeutete aber auch bisher, starke Verluste im Plasma, was den industriellen Einsatz verhinderte. Mit der durch Arc Precision und IWS entwickelten und durch aixcon Stromquellen realisierten Technik ist das Verfahren jetzt industriell einsetzbar. aixcon liefert für diese Anlagen:
  • HCA Pulsstromquelle (5000A, 50kW)
  • Zündgeräte be
  • rührungslos (Prozess und formieren des Targets)
  • Stromquellen für Filterbogen (1000A, 20V)
  • Gesamtsteuerung für Motoren (Targetwechsler) und Ventile (4 Motoren, 30 Ventile)
  • Gesamte Software zur Steuerung, Bedienung, Kundenschnittstelle.
  • Selbstverständlich ist ein Wartungs- und Diagnosezugriff über das Internet möglich.

Das aufgetragene Material wird von einem Kohlenstofftarget abgeschieden. Ein Target ist nach ca. 30 Minuten verbraucht und wird im laufenden Prozess automatisch ausgewechselt. Auch der Targetwechsel wird innerhalb der Taktzeit der Produktionslinie ausgeführt. Beim Wechsel des Kohlenstofftargets darf keine Verschlechterung des Vakuums auftreten.

Der Vakuumbogen ist eigentlich eine einfache Art der Beschichtung. Leider lagern sich flüssige Tropfen des Targetmaterials als sog. Droplets ab. Der einzig mögliche Weg diese Droplets zu vermeiden, ist diese herauszufiltern. Dies wird in starken Magnetfeldern gewährleistet. Das bedeutete aber auch bisher, starke Verluste im Plasma, was den industriellen Einsatz verhinderte.

Mit der durch Arc Precision und IWS entwickelten und durch aixcon Stromquellen realisierten Technik ist das Verfahren jetzt industriell einsetzbar.


aixcon liefert für diese Anlagen:

  • HCA Pulsstromquelle (5000A, 50kW)
  • Zündgeräte be
  • rührungslos (Prozess und formieren des Targets)
  • Stromquellen für Filterbogen (1000A, 20V)
  • Gesamtsteuerung für Motoren (Targetwechsler) und Ventile (4 Motoren, 30 Ventile)
  • Gesamte Software zur Steuerung, Bedienung, Kundenschnittstelle.
  • Selbstverständlich ist ein Wartungs- und Diagnosezugriff über das Internet möglich.
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