Gepulster Hochstrombogen (HCA) mit Plasmafilter
Zusammen mit Arc Precision & IWS entwickelte aixcon ein System zur Beschichtung von Oberflächen mit einer Kohlenstoffschicht von 1,5 nm. Dank der Stromquellen von aixcon ist das Verfahren jetzt industriell einsetzbar.
HCA-Technologie (PVD-Beschichtung)
Das Verfahren basiert auf der Verdampfung von Kohlenstoff im Vakuum. Die Energie wird mittels gepulster Hochstromentladung (HCA-Quellen) erzeugt. Mit einem Magnetbogen wird das Plasma gefiltert und erzeugt sehr dünne, homogene Kohlenstoffschichten auf dem Substrat (z.B. Festplattenoberflächen).
Der Vakuumbogen ist eigentlich eine einfache Art der Beschichtung. Leider lagern sich flüssige Tropfen des Targetmaterials als sogenannte Droplets ab. Der einzig mögliche Weg diese Droplets zu vermeiden, ist diese herauszufiltern. Dies wird in starken Magnetfeldern gewährleistet. Das bedeutete aber auch bisher, starke Verluste im Plasma, was den industriellen Einsatz verhinderte.
Unter Verwendung der entworfenen Stromquellen von aixcon ist das Verfahren jetzt industriell einsetzbar.
Produktsortiment:
- HCA – Pulsstromquelle (5000A, 50kW)
- Zündgeräte, berührungslos (Prozess und formieren des Targets)
- Stromquellen für Filterbogen (1000A, 20V)
- Steuerung für Motoren (Targetwechsler) und Ventile (4 Motoren, 30 Ventile)
- Softwarepaket zur Steuerung, Bedienung, Schnittstelle
- Wartungs- und Diagnosezugriff über das Internet möglich
Weitere Beschichtungsverfahren für die aixcon PowerSystems eine Lösung parat hat finden Sie hier.
