Stromquellen & Mikrowellengeneratoren zur Beschichtung
aixcon PowerSystems bietet DC und AC Stromquellen sowie Mikrowellengeneratoren für eine Vielzahl von Beschichtungsprozessen. Dabei unterstützt aixcon insbesondere auch Prozesse bei denen hohe Ansprüche an die Stromversorgung gestellt wird, beispielsweise mit hohen Pulsraten oder speziellen Pulsformen.
Mikrowellenbeschichtung
Mikrowellen (915 MHz / 2,45 GHz / 5,8 GHz) können als Quelle zur Plasmaanregung genutzt werden. Dabei lassen sich mit Mikrowellen höhere Plasmadichten erreichen als mit RF oder DC Anregung. Die Mikrowellengeneratoren von aixcon werden in verschiedenen Plasmabeschichtungsverfahren eingesetzt (z.B. PCVD – Plasma Chemical Vapour Deposition). Dieses Beschichtungsverfahren ermöglicht es, diverse Oberflächen mit sehr dünnen Funktionsschichten zu versehen, die zu einer wesentlichen Verbesserung Objekteigenschaften führen.
aixcons Mikrowellengeneratoren können auch im Pulsbetrieb eingesetzt werden (bis 20 kHz). Im Pulsbetrieb kann die thermische Belastung des Substrats reduziert werden. Dies ermöglicht die Anwendung von Beschichtungsprozessen auf Materialien, die keine hohe thermische Belastung tolerieren (Bspw. Kunststoffe).
Mögliche Anwendungen
- Wafer (Basismaterial für elektronische Bauelemente)
- Halbleitertechnik
- ICs (Integrierte Schaltkreise)
- Photovoltaik
- Fenstern
zu unseren Mikrowellengeneratoren
Galvanotechnik
Die Galvanotechnik (auch Elektroplattieren genannt) ist ein Beschichtungsverfahren bei dem Strom durch einem elektrolytisches Bad geleitet wird. Dabei wird Material von der Anode (Pluspol) abgetragen und auf den zu beschichtenden Körper an der Kathode (Minuspol) aufgetragen.
Der Vorteil der Galvanisierung besteht darin, dass die neue Metallschicht sehr homogen ist und je nach Stromstärke und Prozessdauer, die neue Metallschicht an Stärke gewinnt.
Je nach Material kann die neue Schicht sehr funktionell aufgebaut werden und auch zum Beispiel eine hohe Verschleißfestigkeit oder Gleiteigenschaft erzeugt werden.
Plasma Elektrolytische Oxidation (PEO)
Die Plasma Elektrolytische Oxidation (PEO), auch Plasma Chemische Oxidation (PCO) genannt, ist ein elektrochemischer Prozess um keramikähnliche Schichten auf Metalle zu erzeugen. Die Prozesseigenschaft liegt bei dem PEO-Verfahren darin, dass die dielektrische Durchschlagsspannung erreicht wird und es dadurch zu einer Entladungen auf der Oberfläche kommt.
Dieses Verfahren wird vorwiegend für optische, medizinische und für Luft- & Raumfahrt -Anwendungen genutzt.
aixcon hat in Zusammenarbeit mit Innovent e.V. einen Prozess entwickelt, der es ermöglicht, Metalle auf beiden Elektroden, unabhängig ihrer Größe und Form gleichmäßig zu beschichten. Diese Verfahren wurde auf der PSE 2016 in Garmisch-Partenkirchen vorgestellt.
Kohlenstoffbeschichtung (High Current Arc | HCA)
Die HCA-Beschichtung (High Current Arc) ist ein Verfahren, um sehr dünne und sehr homogene Kohlenstoffschichten zu erzeugen. Ein Anwendungsgebiet ist beispielsweise die Herstellung von Festplatten. Dieses Verfahren, welches die Firma ARC Precision GmbH entwickelt hat, beruht auf der Verdampfung von Kohlenstoff im Vakuum. Die Energie wird mittels gepulster Hochstromentladung (HCA-Quellen) erzeugt, welche von aixcon entwickelt wurde.