Benutzer-Werkzeuge

Webseiten-Werkzeuge


Navigation


aixcon PowerSystems GmbH

Steinfurt 26
D-52222 Stolberg (map)

Tel.: +49 (0) 2402 12210
FAX: +49 (0) 2402 122122


Impressum

Mikrowellengeneratoren

aixcon entwickelt und produziert seit 15 Jahren Mikrowellengeneratoren für High-End-Anwendungen. Die aixcon Mikrowellengeneratoren Y-2000 und Y-3000 setzen neue Maßstäbe in der Applikation hoch dynamischer, präziser und reproduzierbarer Mikrowellen Technik. Kompakter Aufbau und hervorragende technische Eigenschaften erschließen eine Vielzahl neuer Anwendungen im Mikrowellenplasma. Standardisierte und spezifizierte Schnittstellen ermöglichen die schnelle Inbetriebnahme einzelner Systeme ebenso wie die Integration in komplexe Großanlagentechnik.

Sowohl die Hochspannungsversorgung als auch die Magnetronheizung arbeiten verlustarm mit Schaltnetzteilen. Durch die Wasserkühlung sind die Systeme für den Einsatz in Reinräumen konzipiert. Ein weiterer Vorteil der Wasserkühlung verbunden mit einer intelligenten Regelung ist eine lange Lebensdauer des Magnetrons.

Besonders hervorzuheben ist die hohe Genauigkeit der HF-Leistung auch ohne Messung der HF-Leistung. Dies wird durch ein neuartiges Regelungskonzept erreicht, welches die Alterung von Magnetrons berücksichtigt.

Im Pulsbetrieb sind Frequenzen bis 20kHz und Pulsleistungen von Faktor 1,5 der Nominalleistung erreichbar.

  • hohe Regelgenauigkeit in HF-Konstant- und Pulsbetrieb
  • grosse Langzeitkonstanz der Kalibrierung
  • hohe Dynamik, HF Pulsfrequenzen bis 20 kHz
  • grosser Wirkungsgrad, Energieeffizienz
  • analoge und viele übliche Feldbusschnittstellen
  • kompakte, leichte Bauweise

Applikationen

Waferbearbeitung:
In der Herstellung von Halbleitern und Mikrochips sind aixcon Mikrowellengeneratoren in den Arbeitsschritten ätzen, reinigen usw. bei renommierten Herstellern weltweit im Einsatz.

Glasbeschichtung:
Bei der Beschichtung unter Plasma werden aixcon Mikrowellen zur Herstellung von Effektgläsern mit elektrostatischer oder UV abhängiger Verdunkelung, Verspiegelung und Infrarotreflektion eingesetzt. Eine weitere Anwendung ist die Herstellung von Kaltlichtspiegeln für Halogenleuchten.

KFZ-Technik:
Hoch belastete Bauteile in Verbrennungsmotoren, wie Ventile, Ventilschäfte, Einspritzdüsen usw. werden mit aixcon Mikrowellenplasma bearbeitet.



Alle Anschlüsse sind an der Rückseite steckbar zugänglich.













Typische Anwendung im Plasmagenerator einer Waferbearbeitung zum Ätzen und Reinigen von Wafern im „Downstream“-Plasma.

Print this!Mail this!